電子材料

Electronic

フォトスペーサー(PS)用レジスト

液晶用材料

LCDのセルギャップをより高度に制御して画質の向上を図るためにカラーフィルタ上に形成されるのがフォトスペーサー(PS)です。お客様のニーズや用途に合わせたラインナップを揃えています。

特徴

・高ユニフォミティ、高感度、高現像性
・高耐熱性、高耐薬品性

フォトスペーサー(PS)用レジスト

製品バリエーション

タイプ 汎用(柔軟)タイプ 汎用(高硬度)タイプ 高精細タイプ
スペーサー形状 注1) 汎用(柔軟)タイプ 汎用(高硬度)タイプ 高精細タイプ
スペーサーサイズ 注1) >12μm >12μm <14μm
耐熱性 注2)
(膜厚維持率)
230℃/60分 96% 99% 97%
250℃/60分 90% 96% 96%
耐薬品性 注2)
25℃/30分・浸漬
(膜厚変化)
IPA 変化なし 変化なし 変化なし
NMP浸漬 変化なし 変化なし 変化なし
γ-BL 変化なし 変化なし 変化なし
EGMB 変化なし 変化なし 変化なし
5%NaOH 変化なし 変化なし 変化なし
5%HM2SO4 変化なし 変化なし 変化なし
主用途 モニター
ノートブック
TV
モニター
ノートブック
TV
ノートブック
タブレット
モバイル

注1)スペーサー形状、サイズは、装置やPS作製のプロセス条件により異なります。

注2)膜厚 1μmで評価

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